低温等离子废气净化器体降解污染物是运用电子、基等活性粒子与废气中的污染物效果，使污染物分子在极短的时间内发作分化，并发作后续的各种反响以到达降解污染物的意图。该技能可以使用于污水处理厂、石油化工、制药、污水处理、涂料、皮革加工、感光资料、汽车制作、食物加工厂、印染厂、废物处理厂、公厕、屠宰场、牲畜饲养场、鱼类加工厂、饲料加工厂等许多可以发作恶臭异味的场所。

低温等离子废气净化器在废气处理中的使用跟着工业经济的开展，石油、制药，油漆、印刷和涂料等职业发生的挥发性废气也日渐增多，这些废气不只会在大气中逗留较长的时刻，还会扩散和漂移到较远的当地，给环境带来严峻的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康发生的损害；别的工业烟气的无控制排放使大气环境日益恶化，酸雨(要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的损害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。降解挥发性污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。

低温等离子废气净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

(1)电场+电子→电子

(2)电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团

(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热

(4)活性基团+活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。